Condiciones de depósito para la síntesis de películas delgadas de Al2O3 por erosión catódica en modo RF para su aplicación en pasivación de superficies metálicas reflejantes
Clave: II-2025-0008
Tipo de Material: Informe Técnico Interno
Editorial: ICAT
Línea de Trabajo o Desarrollo:
- Síntesis de Películas Delgadas de Óxidos Metálicos
Autores:
Alejandro Esparza García
Martín Briseño García
Selene Rubí Islas Sánchez
José Guadalupe Bañuelos Muñetón
Raúl Ruvalcaba Morales